Hochschulschrift
Physikalisch-elektronische Eigenschaften ammoniaknitridierter RTP-SiOxNy-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
119 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Chemnitz, Zwickau, Techn. Univ., Diss., 1995
- Keyword
-
MIS
Kondensator
Siliciumoxinitride
Dünne Schicht
- Creator
-
Prösch, Georg
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
2025-06-11T14:31:23+0200
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Prösch, Georg
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![Elektronische Eigenschaften von a-SiOx:H-Filmen [a-SiOx-H-Filmen]](/assets/placeholder/searchResultMediaNoDigitisedMedia.png)
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Die elektronischen und geometrischen Eigenschaften von geordneten organischen Schichten
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