Hochschulschrift
Einfluss von Wasserstoff und Sauerstoff auf die Eigenschaften von reaktiv gesputterten Si3N4- und SiOxNy-Schichten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
130 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Giessen, Univ., Diss., 1986 (Nicht für den Austausch)
- Creator
-
Wolfrat, Robert
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:35 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Wolfrat, Robert
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