Hochschulschrift | Online-Publikation
Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
München, Techn. Univ., Diss., 2003
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Titannitrid
Siliciumnitrid
Schichtverbundwerkstoff
Nanokomposit
PECVD-Verfahren
Titannitrid
Siliciumnitrid
Mehrschichtsystem
Nanostrukturiertes Material
Magnetronsputtern
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss2003041607864
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:45 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
Beteiligte
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