Monografie
Superharte TiN-, Si3N4-Nanokomposite durch reaktive Magnetronzerstäubung kombiniert mit chemischer Gasphasenabscheidung
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
-
München, Techn. Univ., Diss., 2003
- Identifier
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968944590
Thema
Schichtverbundwerkstoff ; Nanokomposit ; PECVD-Verfahren ; Titannitrid ; Siliciumnitrid ; Mehrschichtsystem ; Nanostrukturiertes Material ; Magnetronsputtern ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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