- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
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2213-9621
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
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online resource.
- Erschienen in
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Highly controllable and reliable ultra-thin Parylene deposition ; volume:6 ; number:1 ; day:10 ; month:10 ; year:2018 ; pages:1-7 ; date:12.2018
Micro and Nano Systems Letters ; 6, Heft 1 (10.10.2018), 1-7, 12.2018
- Klassifikation
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Urheber
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Liu, Yaoping
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Kang, Dongyang
Dai, Wangzhi
Li, Haida
Wang, Wei
Tai, Yu-Chong
SpringerLink (Online service)
- DOI
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10.1186/s40486-018-0067-0
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2018111820000235612614
- Rechteinformation
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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14.08.2025, 10:49 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Liu, Yaoping
- Kang, Dongyang
- Dai, Wangzhi
- Li, Haida
- Wang, Wei
- Tai, Yu-Chong
- SpringerLink (Online service)