Highly controllable and reliable ultra-thin Parylene deposition

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2213-9621
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Highly controllable and reliable ultra-thin Parylene deposition ; volume:6 ; number:1 ; day:10 ; month:10 ; year:2018 ; pages:1-7 ; date:12.2018
Micro and Nano Systems Letters ; 6, Heft 1 (10.10.2018), 1-7, 12.2018

Klassifikation
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Urheber
Liu, Yaoping
Beteiligte Personen und Organisationen
Kang, Dongyang
Dai, Wangzhi
Li, Haida
Wang, Wei
Tai, Yu-Chong
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/s40486-018-0067-0
URN
urn:nbn:de:101:1-2018111820000235612614
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:49 MESZ

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Beteiligte

  • Liu, Yaoping
  • Kang, Dongyang
  • Dai, Wangzhi
  • Li, Haida
  • Wang, Wei
  • Tai, Yu-Chong
  • SpringerLink (Online service)

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