Hochschulschrift
Erweiterungen der Scatterometrie zur modellbasierten optischen Nanometrologie von Halbleiterstrukturen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783923560998
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
133 Seiten
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Illustrationen, Diagramme
Universität Stuttgart, Dissertation, 2019
- Bibliographic citation
-
Berichte aus dem Institut für Technische Optik / Universität Stuttgart ; Nr. 100
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
Physik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Stuttgart
- (who)
-
Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
- (when)
-
2019
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:59 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Ferreras Paz, Valeriano
- Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Time of origin
- 2019
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