Hochschulschrift
Erweiterungen der Scatterometrie zur modellbasierten optischen Nanometrologie von Halbleiterstrukturen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783923560998
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
133 Seiten
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen, Diagramme
Universität Stuttgart, Dissertation, 2019
- Erschienen in
-
Berichte aus dem Institut für Technische Optik / Universität Stuttgart ; Nr. 100
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
Physik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
- (wann)
-
2019
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:59 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ferreras Paz, Valeriano
- Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart
Entstanden
- 2019
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