Hochschulschrift
Development and characterization of the 3C-SiC-SOI material system for high temperature piezoresistive pressure microsensors
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183358090
3183358093
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XVI, 154 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 358, Reihe 9
- Schlagwort
-
Halbleiterdrucksensor
Mikrosensor
Hochtemperaturtechnik
Siliciumcarbid
Kubisches Gitter
SOI-Technik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
2002
- Urheber
-
Zappe, Stefan
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:42 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Zappe, Stefan
- VDI-Verl.
Entstanden
- 2002
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