Monografie
Entwicklung von Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
-
Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2000
- Identifier
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96042105X
Thema
Halbleiterwerkstoff ; Chemikalie ; Reinststoff ; Halbleitertechnologie ; Kontamination ; Organische Verbindungen ; Gaschromatographie ; Probenvorbereitung ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:53 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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