Hochschulschrift
Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
IX, 185 Seiten
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen, Diagramme
Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Dissertation, 2015
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:33 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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