Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Bibliographic citation
-
Surface passivation and optical characterization of Al2O3/a-SiCx stacks on c-Si substrates ; volume:4 ; pages:726-731
Beilstein journal of nanotechnology ; 4, 726-731
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- DOI
-
10.3762/bjnano.4.82
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2014052313281
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:45 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.