Fabrication and characterization of silicon-on-insulator wafers

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
1 Online-Ressource.
Sprache
Englisch

Erschienen in
Fabrication and characterization of silicon-on-insulator wafers ; volume:11 ; number:1 ; day:13 ; month:11 ; year:2023 ; pages:1-11 ; date:12.2023
Micro and Nano Systems Letters ; 11, Heft 1 (13.11.2023), 1-11, 12.2023

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik

Urheber
Kim, Taeyeong
Lee, Jungchul
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/s40486-023-00181-y
URN
urn:nbn:de:101:1-2024013014173542323056
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:31 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Kim, Taeyeong
  • Lee, Jungchul
  • SpringerLink (Online service)

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