- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
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1 Online-Ressource.
- Sprache
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Englisch
- Erschienen in
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Fabrication and characterization of silicon-on-insulator wafers ; volume:11 ; number:1 ; day:13 ; month:11 ; year:2023 ; pages:1-11 ; date:12.2023
Micro and Nano Systems Letters ; 11, Heft 1 (13.11.2023), 1-11, 12.2023
- Klassifikation
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Elektrotechnik, Elektronik
- Urheber
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Kim, Taeyeong
Lee, Jungchul
- Beteiligte Personen und Organisationen
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SpringerLink (Online service)
- DOI
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10.1186/s40486-023-00181-y
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2024013014173542323056
- Rechteinformation
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 15.08.2025, 07:31 MESZ
Datenpartner
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Beteiligte
- Kim, Taeyeong
- Lee, Jungchul
- SpringerLink (Online service)