Wafer fabrication : automated material handling systems

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783110486902
3110486903
Dimensions
25 cm, 675 g
Extent
XI, 272 Seiten
Edition
[1. Auflage]
Language
Englisch
Notes
Illustrationen

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
Halbleitertechnologie
Wafer
Intelligente Fertigung
Handhabungstechnik
Materialflusssystem
Transportsystem
Automation
Computersimulation

Event
Veröffentlichung
(where)
Berlin, Wuhan
(who)
De Gruyter, Huazhong University of Science and Technology Press
(when)
2018
Creator
Contributor

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Last update
11.03.2025, 12:05 PM CET

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Time of origin

  • 2018

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