Wafer fabrication : automated material handling systems

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783110486902
3110486903
Maße
25 cm, 675 g
Umfang
XI, 272 Seiten
Ausgabe
[1. Auflage]
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Illustrationen

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Halbleitertechnologie
Wafer
Intelligente Fertigung
Handhabungstechnik
Materialflusssystem
Transportsystem
Automation
Computersimulation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin, Wuhan
(wer)
De Gruyter, Huazhong University of Science and Technology Press
(wann)
2018
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:38 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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