- Sprache
-
Englisch
- Umfang
-
XII, 182 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2009
- ISBN
-
978-3-940565-54-9
- Identifier
-
1003670210
- Reihe
-
Ergebnisse aus der Produktionstechnik; Bd. 2010,11 ; Edition Wissenschaft - Apprimus ; Technologie der Fertigungsverfahren
Thema
Wafer ; Silicium ; Rotationsschleifen ; Prozessanalyse ; Werkstoffschädigung ; Randschicht ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:47 MESZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
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