Monografie

Precursor chemistry of tantalum and niobium nitride for MOCVD and ALD applications

Sprache
Englisch
Anmerkungen
Bochum, Univ., Diss., 2006
Identifier
982633009

Thema
Beschichtung; Beschichtungsanlage; Hochschulschrift

Beteiligte Personen und Organisationen

URN
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
26.01.2023, 13:57 MEZ

Objekttyp

  • Monografie

Beteiligte

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