Monografie
Precursor chemistry of tantalum and niobium nitride for MOCVD and ALD applications
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
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Bochum, Univ., Diss., 2006
- Identifier
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982633009
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:57 MEZ
Objekttyp
- Monografie