A Review of Actuation and Sensing Mechanisms in MEMS-Based Sensor Devices

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
1556-276X
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
A Review of Actuation and Sensing Mechanisms in MEMS-Based Sensor Devices ; volume:16 ; number:1 ; day:26 ; month:1 ; year:2021 ; pages:1-21 ; date:12.2021
Nanoscale research letters ; 16, Heft 1 (26.1.2021), 1-21, 12.2021

Urheber
Algamili, Abdullah Saleh
Khir, Mohd Haris Md
Dennis, John Ojur
Ahmed, Abdelaziz Yousif
Alabsi, Sami Sultan
Ba Hashwan, Saeed Salem
Junaid, Mohammed M.
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1186/s11671-021-03481-7
URN
urn:nbn:de:101:1-2021031718341019652775
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2002, 07:35 MESZ

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Beteiligte

  • Algamili, Abdullah Saleh
  • Khir, Mohd Haris Md
  • Dennis, John Ojur
  • Ahmed, Abdelaziz Yousif
  • Alabsi, Sami Sultan
  • Ba Hashwan, Saeed Salem
  • Junaid, Mohammed M.
  • SpringerLink (Online service)

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