Growth of Ultra-thin Ruthenium and Ruthenium Alloy Films for Copper Barriers

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
In: AMC 2015 – Advanced Metallization Conference

Classification
Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk
Keyword
Keimbildung
Ruthenium
CVD-Verfahren

Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Universitätsbibliothek Chemnitz
(when)
2016
Event
Veröffentlichung
(where)
Chemnitz
(who)
Technische Universität Chemnitz
(when)
2016
Creator
Liao, Wen
Bost, Daniel
Ekerdt, John G.

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-207151
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:51 AM CEST

Data provider

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Associated

  • Liao, Wen
  • Bost, Daniel
  • Ekerdt, John G.
  • Universitätsbibliothek Chemnitz
  • Technische Universität Chemnitz

Time of origin

  • 2016

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