Ruthenium (II) MOCVD Precursors for Phosphorus‐Doped Ruthenium Layer Formation
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Erschienen in
-
Ruthenium (II) MOCVD Precursors for Phosphorus‐Doped Ruthenium Layer Formation ; volume:2020 ; number:17 ; year:2020 ; pages:1612-1623 ; extent:12
European journal of inorganic chemistry ; 2020, Heft 17 (2020), 1612-1623 (gesamt 12)
- Urheber
-
Preuß, Andrea
Tamuliene, Jelena
Madajska, Katarzyna
Szymanska, Iwona B.
Korb, Marcus
Rüffer, Tobias
Jeschke, Janine
Melzer, Marcel
Bankwitz, Jörn
Schulz, Stefan E.
Lang, Heinrich
- DOI
-
10.1002/ejic.201901310
- URN
-
urn:nbn:de:101:1-2022061711135657739005
- Rechteinformation
-
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.08.2025, 07:20 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
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Beteiligte
- Preuß, Andrea
- Tamuliene, Jelena
- Madajska, Katarzyna
- Szymanska, Iwona B.
- Korb, Marcus
- Rüffer, Tobias
- Jeschke, Janine
- Melzer, Marcel
- Bankwitz, Jörn
- Schulz, Stefan E.
- Lang, Heinrich
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