Growth of Ultra-thin Ruthenium and Ruthenium Alloy Films for Copper Barriers
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
In: AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
- Klassifikation
-
Öffentliche Darbietungen, Film, Rundfunk
- Schlagwort
-
Keimbildung
Ruthenium
CVD-Verfahren
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Chemnitz, Chemnitz
- (wer)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
- (wann)
-
2016
- Urheber
-
Liao, Wen
Bost, Daniel
Ekerdt, John G.
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-207151
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:46 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Liao, Wen
- Bost, Daniel
- Ekerdt, John G.
- Universitätsbibliothek Chemnitz, Technische Universität Chemnitz
Entstanden
- 2016
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