Hochschulschrift
Plasma-assisted atomic layer deposition for microelectronics applications
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Magdeburg, Universität, Dissertation, 2016
- Klassifikation
-
Physik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Magdeburg
- (wer)
-
Universitätsbibliothek
- (wann)
-
2016
- Urheber
-
Amusan, Akinwumi Abimbola
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Burte, Edmund P.
Edelmann, Frank T.
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ma9:1-8379
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:58 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Amusan, Akinwumi Abimbola
- Burte, Edmund P.
- Edelmann, Frank T.
- Universitätsbibliothek
Entstanden
- 2016
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