Hochschulschrift
Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Greifswald, Univ., Diss., 2009
- Keyword
-
Magnetron ; Massenspektrometrie ; Beschichten ; Plasma-Wand-Wechselwirkung ; Reaktives Sputtern ; Titannitrid ; Titandioxid ; Röntgen-Photoelektronens
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:9-000717-9
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:44 AM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
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![Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]](/assets/placeholder/searchResultMediaNoDigitisedMedia.png)
Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]
Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten
Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren
Beiträge zur Charakterisierung des Aufbaus, der Struktur der Oberfläche, der elektrischen und elektrochemischen Eigenschaften von (RuOx+TiOx)-beschichteten [RuOxTiOx-beschichteten] Ti-Elektroden
Engineering method for tailoring electrical characteristics in TiN/TiOx/HfOx/Au Bi-layer oxide memristive devices
Conducting Ceramics - TiOx at Low Oxygen Pressure
Untersuchungen zur Plasma-Wand-Wechselwirkung am System TiNx auf Si
Herstellung von selektiven Solarabsorberschichten auf TiOxNy-Basis
Raman Spectroscopy Analysis of CVD Hard Coatings Deposited in the TiC1-xNx, TiBxCyNz and Ti-B-N System
Highly conductive nano-sized Magnéli phases titanium oxide (TiOx)
Ein Beitrag zur reaktiven Abscheidung metastabiler Hartstoffschichten
RRAM characteristics using a new Cr/GdOx/TiN structure
Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]
Plasmadiagnostische und oberflächenanalytische Untersuchungen zum Mechanismus der Abscheidung reaktiv gesputterter TiNx-Schichten
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Beiträge zur Charakterisierung des Aufbaus, der Struktur der Oberfläche, der elektrischen und elektrochemischen Eigenschaften von (RuOx+TiOx)-beschichteten [RuOxTiOx-beschichteten] Ti-Elektroden
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