Hochschulschrift
Untersuchungen zur Plasma-Wand-Wechselwirkung am System TiNx auf Si
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
82 Bl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Greifswald, Univ., Diss., 1997
- Keyword
-
Silicium
Wafer
Titannitrid
Sputtern
Plasma-Wand-Wechselwirkung
Plasmadiagnostik
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:51 AM CET
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Object type
- Hochschulschrift
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![Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]](/assets/placeholder/searchResultMediaNoDigitisedMedia.png)
Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]
Plasma-Wand-Wechselwirkung strukturierter Oberflächen
Energetische Aspekte der Plasma-Wand-Wechselwirkung
CAD mit NX : NX 5 und NX 6
Abscheidungskinetik und Eigenschaften von magnetrongesputterten ZrNx- [ZrNx-], NbNx- [NbNx-] und MoNx-Hartstoffschichten [MoNx-Hartstoffschichten]
Entwicklung und Anwendung eines Tree-Codes in Simulationsszenarios der Plasma-Wand-Wechselwirkung
Untersuchungen zur Plasma-Wand-Wechselwirkung in einem Tokamak mit Hilfe laserinduzierter Fluoreszenz
Experimentelle und theoretische Beiträge zur Plasma-Wand-Wechselwirkung keramischer Hitzeschutzmaterialien unter Wiedereintrittsbedinungen
Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma
"BiNX"
"BiNx
Unigraphics NX 6 und NX 7 : Bauteile, Baugruppen, Zeichnungen
Optische Untersuchungen an den Hartstoffsystemen TiNx [TiNx], TiNxO1_346x [TiNxOx] und TiNxC1_346x [TiNxCx]
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