Investigation of Implanted Boron in 4H-SiC and Iron in 3C-SiC and Experimental/Theoretical Analysis of the Depletion Zone in 4H-SiC MOS Capacitors

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2018

Klassifikation
Physik
Schlagwort
3C-SiC, 4H-SiC, Deep Level, DLTS, Depletion zone, MOS Capacitor

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Erlangen
(wer)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(wann)
2018
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Weber, Heiko

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-95949
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:46 MESZ

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Beteiligte

Entstanden

  • 2018

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