Hochschulschrift
Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC)
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783839603420
- Maße
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21 cm
- Umfang
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XI, 206 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Techn. Univ., Diss., 2011
- Klassifikation
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Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
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Siliciumcarbid
Hexagonaler Kristall
CVD-Verfahren
Homoepitaxie
Versetzung
- Ereignis
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Veröffentlichung
- (wo)
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Stuttgart
- (wer)
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Fraunhofer-Verl.
- (wann)
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2011
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
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Fraunhofer IISB, Erlangen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
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- Letzte Aktualisierung
-
11.04.20252025, 12:56 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kallinger, Birgit
- Fraunhofer IISB, Erlangen
- Fraunhofer-Verl.
Entstanden
- 2011