Hochschulschrift

Versetzungsverhalten bei der Homoepitaxie von hexagonalem Siliziumkarbid (4H-SiC)

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783839603420
Maße
21 cm
Umfang
XI, 206 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Techn. Univ., Diss., 2011

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
Siliciumcarbid
Hexagonaler Kristall
CVD-Verfahren
Homoepitaxie
Versetzung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Stuttgart
(wer)
Fraunhofer-Verl.
(wann)
2011
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Fraunhofer IISB, Erlangen

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.04.20252025, 12:56 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2011

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