Aktivierung von Aluminium implantiert in 4H-SiC

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Standort: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main

Umfang: Online-Ressource

Sprache: Deutsch

Anmerkungen: Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2024

Klassifikation: Elektrotechnik, Elektronik

Schlagwort: Aluminium
Siliciumcarbid
Ionenimplantation

Ereignis: Veröffentlichung

(wo): Erlangen

(wer): Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

(wann): 2025

Urheber: Mletschnig, Kristijan Luka

Beteiligte Personen und Organisationen: Pichler, Peter
Witzigmann, Bernd

DOI: 10.25593/open-fau-1539

URN: urn:nbn:de:101:1-2501240404427.169739095108

Rechteinformation: Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.

Letzte Aktualisierung: 15.08.2025, 07:25 MESZ

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Beteiligte

Mletschnig, Kristijan Luka
Pichler, Peter
Witzigmann, Bernd
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Entstanden

2025

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