Investigation of Implanted Boron in 4H-SiC and Iron in 3C-SiC and Experimental/Theoretical Analysis of the Depletion Zone in 4H-SiC MOS Capacitors
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Notes
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Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2018
- Classification
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Physik
- Keyword
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3C-SiC, 4H-SiC, Deep Level, DLTS, Depletion zone, MOS Capacitor
- Event
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Veröffentlichung
- (where)
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Erlangen
- (who)
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Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
- (when)
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2018
- Creator
- Contributor
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Weber, Heiko
- URN
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urn:nbn:de:bvb:29-opus4-95949
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:45 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Tsirimpis, Athanasios
- Weber, Heiko
- Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
Time of origin
- 2018