Investigation of Implanted Boron in 4H-SiC and Iron in 3C-SiC and Experimental/Theoretical Analysis of the Depletion Zone in 4H-SiC MOS Capacitors

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
Erlangen, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), Dissertation, 2018

Classification
Physik
Keyword
3C-SiC, 4H-SiC, Deep Level, DLTS, Depletion zone, MOS Capacitor

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2018
Creator
Contributor
Weber, Heiko

URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-95949
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:45 PM CET

Data provider

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Time of origin

  • 2018

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