In situ spectroscopic ellipsometry as a pathway toward achieving VO2stoichiometry for amorphous vanadium oxide with magnetron sputtering

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
In: Xu, C.; Heinemeyer, F.; Dittrich, A.; Bäumer, C.; Reineke-Koch, R.: In situ spectroscopic ellipsometry as a pathway toward achieving VO2stoichiometry for amorphous vanadium oxide with magnetron sputtering. In: AIP Advances 11 (2021), Nr. 3, 035126. DOI: https://doi.org/10.1063/5.0041116

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover
(wer)
Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
(wann)
2021
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Hannover
(wer)
Technische Informationsbibliothek (TIB)
(wann)
2021
Urheber
Xu, C.
Heinemeyer, F.
Dittrich, A.
Bäumer, C.
Reineke-Koch, R.

DOI
10.15488/16722
URN
urn:nbn:de:101:1-2024032801385899023372
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:49 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Xu, C.
  • Heinemeyer, F.
  • Dittrich, A.
  • Bäumer, C.
  • Reineke-Koch, R.
  • Gottfried Wilhelm Leibniz Universität Hannover
  • Technische Informationsbibliothek (TIB)

Entstanden

  • 2021

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