An Investigation of Target Poisoning during Reactive Magnetron Sputtering

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch

Erschienen in
Wissenschaftlich-technische Berichte ; FZD-515

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Forschungszentrum Dresden
(wann)
2010
Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Dresden
(wer)
Forschungszentrum Dresden-Rossendorf
(wann)
2010
Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:d120-qucosa-27841
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
15.08.2025, 07:37 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

Entstanden

  • 2010

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