Monografie
Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2000
- Identifier
-
960539468
Thema
Elektronenlinse ; Elektronenstrahllithografie ; Hochschulschrift; Online-Publikation
Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:53 MEZ
Objekttyp
- Monografie
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