Hochschulschrift
Defect engineering in transition metal based nitride thin films by energetic treatment during deposition
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832542672
3832542671
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XIV, 215 Seiten
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
Technische Universität Bergakademie Freiberg, Dissertation, 2015
- Schlagwort
-
Übergangsmetallnitride
Dünne Schicht
PVD-Verfahren
Ionenbestrahlung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Logos Verlag
- (wann)
-
[2016]
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:22 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Wüstefeld, Christina
- Logos Verlag Berlin
- Logos Verlag
Entstanden
- [2016]
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