Hochschulschrift
Untersuchung des laserunterstützten Naß- und Trockenätzens von Silizium zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826562662
3826562666
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
145 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1999
- Schlagwort
-
Silicium
Nassätzen
Laserstrahlätzen
Neodym-YAG-Laser
Mikrosystemtechnik
Dreidimensionale Bearbeitung
Silicium
Trockenätzen
Laserstrahlätzen
Chlor
Mikrosystemtechnik
Dreidimensionale Bearbeitung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
1999
- Urheber
-
Schumacher, Axel
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:17 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schumacher, Axel
- Shaker
Entstanden
- 1999
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