Hochschulschrift
Untersuchungen zur Lithographie mit hochenergetischen Ionen in Polymeren zur Herstellung dreidimensionaler Mikrostrukturen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
30 cm
- Extent
-
115 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Jena, Univ., Diss., 2000
- Keyword
-
Photoresist
Polymethylmethacrylate
Ionenstrahllithografie
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:15 PM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
Associated
Other Objects (12)
Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Selektive Biofunktionalisierung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Mikroskopisch genaue Zellbestrahlung mit hochenergetischen Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Produktives Schleifen von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Untersuchung zentraler Stösse zwischen hochenergetischen schweren Ionen
Atomar auflösende Tiefenmikroskopie mit hochenergetischen, schweren Ionen
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen
Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Selektive Biofunktionalisierung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Mikroskopisch genaue Zellbestrahlung mit hochenergetischen Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Produktives Schleifen von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Untersuchung zentraler Stösse zwischen hochenergetischen schweren Ionen
Atomar auflösende Tiefenmikroskopie mit hochenergetischen, schweren Ionen
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen
Messung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Selektive Biofunktionalisierung dreidimensionaler Mikrostrukturen
Mikroskopisch genaue Zellbestrahlung mit hochenergetischen Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Hochauflösende Schichtanalytik mit hochenergetischen schweren Ionen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Rechnergestützte Vermessung von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Produktives Schleifen von dreidimensionalen Mikrostrukturen
Untersuchung zentraler Stösse zwischen hochenergetischen schweren Ionen
Atomar auflösende Tiefenmikroskopie mit hochenergetischen, schweren Ionen
Herstellung von dreidimensionalen Mikrostrukturen aus Polymermembranen