Erzeugung dreidimensionaler Mikrostrukturen : Verbundprojekt 1998 - 2002 ; Abschlussbericht
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783897501164
3897501163
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
243 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
- Erschienen in
-
Reihe Innovationen in der Mikrosystemtechnik ; Bd. 83
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Teltow
- (wer)
-
VDI-VDE-IT
- (wann)
-
2003
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:45 MEZ
Datenpartner
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Beteiligte
- ASI, Advanced Semiconductor Instruments GmbH
- VDI-VDE-IT
Entstanden
- 2003
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