Development and characterization of piezoelectric AlScN-based alloys for electroacoustic applications
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Universität Freiburg, Dissertation, 2019
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Alloys
Sputtern
Dünne Schicht
Aluminiumnitrid
Piezoelektrizität
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Freiburg
- (who)
-
Universität
- (when)
-
2019
- Creator
- Contributor
- DOI
-
10.6094/UNIFR/149771
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-1497710
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:51 AM CEST
Data provider
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Associated
- Lu, Yuan
- Ambacher, Oliver
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften
- Universität
Time of origin
- 2019
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