Development and characterization of piezoelectric AlScN-based alloys for electroacoustic applications
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Universität Freiburg, Dissertation, 2019
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Alloys
Sputtern
Dünne Schicht
Aluminiumnitrid
Piezoelektrizität
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Freiburg
- (wer)
-
Universität
- (wann)
-
2019
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- DOI
-
10.6094/UNIFR/149771
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-1497710
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 10:51 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Lu, Yuan
- Ambacher, Oliver
- Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften
- Universität
Entstanden
- 2019
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