Diagnostic of graphene on Ge(100)/Si(100) in a 200 mm wafer Si technology environment by spectroscopic ellipsometry/reflectometry
- Sprache
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Englisch
- Identifier
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1257964712
Lukosius, Mindaugas
Bauer, Joachim
Villringer, Claus
Lux, Helge
Bärwolf, Florian
Lisker, Marco
Mai, Andreas
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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07.06.2022, 09:55 MESZ
Beteiligte
- Fursenko, Oksana
- Lukosius, Mindaugas
- Bauer, Joachim
- Villringer, Claus
- Lux, Helge
- Bärwolf, Florian
- Lisker, Marco
- Mai, Andreas