Fabrication of ultrasmall si encapsulated in silicon dioxide and silicon nitride as alternative to impurity doping

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: 10.1002/pssa.202300066

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
(when)
2023
Creator
Frentzen, Michael
Michailow, Michail
Ran, Ke
Wilck, Noel
Mayer, Joachim
Smith, Sean C.
König, Dirk
Knoch, Joachim

DOI
10.18154/RWTH-2023-06402
URN
urn:nbn:de:101:1-2023070601460513360360
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
14.08.2025, 10:47 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2023

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