Fabrication of ultrasmall si encapsulated in silicon dioxide and silicon nitride as alternative to impurity doping
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Bibliographic citation
-
In: 10.1002/pssa.202300066
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
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Aachen
- (who)
-
Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
- (when)
-
2023
- Creator
-
Frentzen, Michael
Michailow, Michail
Ran, Ke
Wilck, Noel
Mayer, Joachim
Smith, Sean C.
König, Dirk
Knoch, Joachim
- DOI
-
10.18154/RWTH-2023-06402
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2023070601460513360360
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:47 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Frentzen, Michael
- Michailow, Michail
- Ran, Ke
- Wilck, Noel
- Mayer, Joachim
- Smith, Sean C.
- König, Dirk
- Knoch, Joachim
- Universitätsbibliothek der RWTH Aachen
Time of origin
- 2023