Hochschulschrift | Online-Publikation

Wachstum epitaktischer CoSi2-Schichten durch Reaktion metallischer Doppelschichten mit Si(100)

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Dateiformat: zip, Datei im PS-Format
Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 1999

Schlagwort
Cobaltdisilicid
Epitaxieschicht
Schichtwachstum

Urheber

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-200000134
urn:nbn:de:swb:ch1-200000131
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:48 MEZ

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Objekttyp

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  • Online-Publikation

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