Hochschulschrift

Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2013

Klassifikation
Elektrotechnik, Elektronik
Schlagwort
System-in-Package
Dreidimensionale Integration
Bonden
Silicium
Eigenspannung
Spannungsanalyse
Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung
Röntgenographie
Finite-Elemente-Methode
Zuverlässigkeit
Integration
Röntgenbeugung
Simulation
Beugung
Spannungsanalyse
Eigenspannung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Chemnitz, Chemnitz
(wer)
Universitätsbibliothek Chemnitz, Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
(wann)
2014
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Wunderle, Bernhard
Wunderle, Bernhard
Meyendorf, Norbert

URN
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-124022
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:45 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Zschenderlein, Uwe
  • Wunderle, Bernhard
  • Meyendorf, Norbert
  • Universitätsbibliothek Chemnitz, Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz

Entstanden

  • 2014

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