Hochschulschrift

Kapazitiver Silizium-Drucksensor mit integrierter Signalverarbeitung

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Dimensions
21 cm
Extent
162 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Berlin, Techn. Univ., Diss., 1995

Keyword
Halbleiterdrucksensor
Siliciumsensor
Kapazitiver Sensor
Signalverarbeitung
CMOS

Creator
Mehlhorn, Torsten

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Rights
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Last update
11.06.2025, 1:36 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Mehlhorn, Torsten

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