Hochschulschrift
Simultane Sekundärionen- und Augerelektronen-Analytik an Beispielen aus Forschung und Technologie der Mikroelektronik
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
131, [12] S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst., Ill.
Kassel, Gesamthochsch., Diss., 1987
- Schlagwort
-
Mikroelektronische Bauelemente
Auger-Elektronenspektroskopie
Sekundärionenmassenspektroskopie
Auger-Spektroskopie
- Urheber
-
Masseli, Klaus
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:45 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Masseli, Klaus
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