- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783898205351
3898205355
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
143 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 2003
- Klassifikation
-
Physik
- Schlagwort
-
Siliciumcarbid
Heteroepitaxie
Silicium
Halbleitersubstrat
Grenzfläche
Durchstrahlungselektronenmikroskopie
Siliciumcarbid
Vergrabene Schicht
Ionenimplantation
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin
- (wer)
-
Mensch-und-Buch-Verl.
- (wann)
-
2003
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:46 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Attenberger, Wilfried
- Mensch-und-Buch-Verl.
Entstanden
- 2003
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