Hochschulschrift

Präparation amorpher und mikrokristalliner Silizium-Dünnschichten mit Hilfe der Wasserstoff-Abstraktionsmethode

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783861119289
3861119285
Dimensions
21 cm
Extent
200 S.
Edition
Als Ms. gedr.
Language
Deutsch
Notes
graph. Darst.
Zugl.: Frankfurt (Main), Univ., Diss., 1993

Keyword
Silicium
Dünne Schicht
Amorpher Zustand
Abscheidung

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
1994
Creator
Roth, Angelika

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Last update
11.03.2025, 12:27 PM CET

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

  • Roth, Angelika
  • Shaker

Time of origin

  • 1994

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