Monografie
Ionenstrahlinduzierte Wachstumsprozesse amorpher Schichten in Silicium
- Sprache
-
Englisch
- Identifier
-
1220506931
- Reihe
-
Wissenschaftlich-technische Berichte; FZR-175
Thema
Astronomie, Kartographie; Amorphisierung; Silicium; Halbleiter; Strahlenschaden; Epitaxie; Ion; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
Henkel, T.
- URN
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
26.01.2023, 13:55 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Henkel, T.
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