Hochschulschrift
Investigation of industrially-suited processes for deposition of oxide thin films by high power impulse magnetron sputtering
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783839612873
383961287X
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XV, 196 Seiten
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, Dissertation, 2017
- Erschienen in
-
Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik ; Nr. 043
- Schlagwort
-
Hochleistungsimpulsmagnetronsputtern
Dünne Schicht
Oxidschicht
Isolierschicht
Aluminiumoxide
Transparent-leitendes Oxid
Indiumoxide
Zinnoxide
Zinkoxid
Prozessführung
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Stuttgart
- (wer)
-
Fraunhofer Verlag
- (wann)
-
[2018]
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:41 MESZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Campos Carreri, Felipe de
- Fraunhofer IRB-Verlag
- Fraunhofer IST
- Fraunhofer Verlag
Entstanden
- [2018]
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