Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung von Lateralstrukturen in Schichtquerschnitten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826522840
3826522842
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
123 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hamburg, Univ., Diss., 1996
- Schlagwort
-
Silber
Silicium
Heterostruktur
Lateralstruktur
Trockenätzen
Kohlenstoff
Silicium
Heterostruktur
Lateralstruktur
Trockenätzen
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
1997
- Urheber
-
Eggers, Holger
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:14 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Eggers, Holger
- Shaker
Entstanden
- 1997
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