Hochschulschrift
Entwurf, Herstellung und Charakterisierung piezoresistiver oberflächen-mikromechanischer Drucksensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826588471
3826588479
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
122 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Kiel, Univ., Diss., 2000
- Schlagwort
-
Halbleiterdrucksensor
Siliciumsensor
Miniaturisierung
Technische Membran
LPCVD-Verfahren
Mikromechanik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
2001
- Urheber
-
Lisec, Thomas
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:34 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Lisec, Thomas
- Shaker
Entstanden
- 2001
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