Hochschulschrift
Herstellung und Charakterisierung von Lateralstrukturen in Schichtquerschnitten
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826522840
3826522842
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
123 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hamburg, Univ., Diss., 1996
- Keyword
-
Silber
Silicium
Heterostruktur
Lateralstruktur
Trockenätzen
Kohlenstoff
Silicium
Heterostruktur
Lateralstruktur
Trockenätzen
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1997
- Creator
-
Eggers, Holger
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:14 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Eggers, Holger
- Shaker
Time of origin
- 1997
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