Wet chemical and plasma etching of photosensitive glass

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource, 22 Seiten
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: Solids(4), H. 3, S.213-234 - ISSN 2673-6497
In: MDPI, Basel

Event
Veröffentlichung
(where)
Ilmenau
(who)
TU Ilmenau
(when)
2023
Creator

DOI
10.3390/solids4030014
URN
urn:nbn:de:101:1-2410070307016.820377260113
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:24 AM CEST

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Time of origin

  • 2023

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