Hochschulschrift
Design of volatile non halogenated precursors for the chemical vapor deposition (cvd) of copper: understanding key molecular properties in a cvd process feasibility study
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783831142743
3831142742
- Maße
-
22 cm
- Umfang
-
XII, 199 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hergestellt on demand
Albany, Univ., Diss., 2002
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
[Köln, Stolberger Straße 370]
- (wer)
-
R. U. Claessen
- (wann)
-
2001
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:27 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Claessen, Rolf U.
- R. U. Claessen
Entstanden
- 2001
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