Laser processing of thin films and microstructures : oxidation, deposition and etching of insulators
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783540179511
3540179518
9780387179513
0387179518
- Maße
-
24 cm
- Umfang
-
VIII, 320 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
77 graph. Darst.
Literaturverz. S. 287 - 313
- Erschienen in
-
Springer series in materials science ; Vol. 3
- Schlagwort
-
Dielektrische Schicht
Laserbearbeitung
Mikrostruktur
Laserbearbeitung
Laser
Laser
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Berlin, Heidelberg, New York, London, Paris, Tokyo
- (wer)
-
Springer
- (wann)
-
1987
- Urheber
-
Boyd, Ian W.
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:16 MESZ
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Beteiligte
- Boyd, Ian W.
- Springer
Entstanden
- 1987
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